更新時(shí)間：2026-01-22
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廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
生產(chǎn)地址：法國
波前傳感器是一種用于測(cè)量光學(xué)波前的計(jì)量工具。雖然“波前傳感器"一詞涵蓋各種儀器，但它具體指獨(dú)立運(yùn)行而不需要參考光束的波前測(cè)量設(shè)備，例如 Fizeau 或 Twyman-Green 干涉儀。制造波前傳感器的主要技術(shù)是 Shack-Hartmann 和橫向剪切干涉法。Phasics 的波前傳感器基于四邊形剪切干涉技術(shù)。
一、SID4 UV波前傳感器介紹
SID4 UV 具有低至 190 nm 的高分辨率波前感應(yīng)功能，非常適合紫外光學(xué)測(cè)試、紫外激光表征(用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用)以及鏡頭和晶圓的表面檢查。
● 非常高的分辨率 – 250 × 250 采樣
● 高靈敏度 – 2 nm RMS
● 經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的紫外波前測(cè)量解決方案
二、SID4 UV波前傳感器參數(shù)
| 型號(hào) | SID4 UV |
| 品牌 | Phasics |
| 波長 | 190 - 400 nm |
| 靶面 | 7.8 x 7.8 mm2 |
| 空間分辨率 | 26 µm |
| 相位和強(qiáng)度采樣 | 300 x 300 |
| 采集率 | > 15 fps |
| 分辨率（相位） | 2 nm RMS |
| 準(zhǔn)確度 | 15 nm RMS |
| 實(shí)時(shí)處理頻率 | 2 fps (full resolution)* |
| 接口 | Giga Ethernet |
| 尺寸(WxHxL) | 74 x 71 x 91 mm3 |
| 重量 | ~600g |
三、應(yīng)用
激光行業(yè)
半導(dǎo)體
天文學(xué)
航空航天
AR/VR
SID4 UV經(jīng)濟(jì)型高分辨率紫外波前傳感器Phasics
SID4 UV經(jīng)濟(jì)型高分辨率紫外波前傳感器Phasics
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